Шема секундарног повратног ваздуха за систем климатизације

Микроелектронска радионица са релативно малом површином чисте просторије и ограниченим радијусом повратног ваздушног канала користи се за усвајање шеме секундарног повратног ваздуха система за климатизацију. Ова шема се такође често користи учисте собеу другим индустријама као што су фармацеутска и медицинска нега. Пошто је запремина вентилације да би се задовољили захтеви влажности чисте собне температуре генерално далеко мања од запремине вентилације која је потребна да би се достигао ниво чистоће, стога је температурна разлика између доводног и повратног ваздуха мала. Ако се користи шема примарног повратног ваздуха, температурна разлика између тачке стања доводног ваздуха и тачке росе јединице за климатизацију је велика, потребно је секундарно грејање, што доводи до отклањања хладне топлоте у процесу обраде ваздуха и веће потрошње енергије . Ако се користи шема секундарног повратног ваздуха, секундарни повратни ваздух се може користити за замену секундарног грејања шеме примарног повратног ваздуха. Иако је подешавање односа примарног и секундарног повратног ваздуха нешто мање осетљиво од подешавања секундарне топлоте, шема секундарног повратног ваздуха је широко препозната као мера уштеде енергије за климатизацију у малим и средњим микро-електронским чистим радионицама. .

Узмимо за пример радионицу за чишћење микроелектронике ИСО класе 6, површина чисте радионице од 1 000 м2, висина плафона 3 м. Пројектни параметри ентеријера су температура тн= (23±1) ℃, релативна влажност φн=50%±5%; Пројектна запремина доводног ваздуха је 171.000 м3/х, време размене ваздуха око 57 х-1, а запремина свежег ваздуха је 25.500 м3/х (од чега је запремина процесног одводног ваздуха 21.000 м3/х, а остатак је запремина ваздуха цурења позитивног притиска). Осетно топлотно оптерећење у чистој радионици је 258 кВ (258 В/м2), однос топлота/влажност клима уређаја је ε=35 000 кЈ/кг, а температурна разлика повратног ваздуха просторије је 4,5 ℃. У овом тренутку, запремина примарног повратног ваздуха од
Ово је тренутно најчешће коришћен облик система за пречишћавање клима уређаја у чистој просторији микроелектронске индустрије, овај тип система се углавном може поделити на три типа: АХУ+ФФУ; МАУ+АХУ+ФФУ; МАУ+ДЦ (суви калем) +ФФУ. Сваки има своје предности и недостатке и погодна места, ефекат уштеде енергије углавном зависи од перформанси филтера и вентилатора и друге опреме.

1) АХУ+ФФУ систем.

Овај тип системског режима се користи у микроелектронској индустрији као „начин одвајања фазе климатизације и пречишћавања“. Могу постојати две ситуације: једна је да се систем за климатизацију бави само свежим ваздухом, а третирани свеж ваздух носи сву топлоту и влагу чисте просторије и делује као додатни ваздух за балансирање издувног ваздуха и цурења позитивног притиска чисте собе, овај систем се такође назива МАУ+ФФУ систем; Други је да количина свежег ваздуха сама по себи није довољна да задовољи потребе за хладним и топлотним оптерећењем чисте просторије, или зато што се свеж ваздух обрађује из спољашњег стања до тачке росе, специфична разлика енталпије потребне машине је превелика , а део унутрашњег ваздуха (еквивалент повратном ваздуху) се враћа у јединицу за обраду клима уређаја, помеша се са свежим ваздухом за топлотну и влажну обраду, а затим шаље у пленум за довод ваздуха. Помешан са преосталим повратним ваздухом чисте просторије (еквивалент секундарном повратном ваздуху), улази у ФФУ јединицу и затим га шаље у чисту просторију. Од 1992. до 1994. године, други аутор овог рада је сарађивао са сингапурском компанијом и навео више од 10 дипломираних студената да учествују у дизајну америчко-хонгконшког заједничког предузећа САЕ Елецтроницс Фацтори, који је усвојио другу врсту пречишћавања клима уређаја и вентилациони систем. Пројекат има чисту собу ИСО класе 5 од приближно 6.000 м2 (од чега је 1.500 м2 уговорена од стране Јапанске агенције за атмосферу). Просторија за климатизацију је распоређена паралелно са чистом страном уз спољни зид, а само уз ходник. Цеви за свеж ваздух, издувни и повратни ваздух су кратке и глатко распоређене.

2) МАУ+АХУ+ФФУ шема.

Ово решење се обично налази у постројењима микроелектронике са вишеструким захтевима за температуром и влажношћу и великим разликама у топлотном и влажном оптерећењу, а ниво чистоће је такође висок. Лети се свеж ваздух хлади и одвлажује до тачке фиксног параметра. Обично је прикладно третирати свеж ваздух до тачке пресека линије изометрије енталпије и линије релативне влажности од 95% чисте просторије са репрезентативном температуром и влажношћу или чисте просторије са највећом запремином свежег ваздуха. Запремина ваздуха МАУ-а се одређује према потребама сваке чисте просторије за допуну ваздуха, и дистрибуира се у АХУ сваке чисте просторије са цевима у складу са потребном запремином свежег ваздуха, и меша се са неким унутрашњим повратним ваздухом за топлоту и третман влаге. Ова јединица сноси сав терет топлоте и влаге и део новог оптерећења од реуматизма чисте просторије у којој служи. Ваздух који третира сваки АХУ шаље се у пленум за доводни ваздух у свакој чистој просторији, а након секундарног мешања са унутрашњим повратним ваздухом, шаље га ФФУ јединица у просторију.

Главна предност МАУ+АХУ+ФФУ решења је у томе што осим што обезбеђује чистоћу и позитиван притисак, оно такође обезбеђује различите температуре и релативну влажност потребне за производњу сваког процеса чисте просторије. Међутим, често због броја постављених АХУ, површина просторије је велика, чиста соба свеж ваздух, повратни ваздух, цевоводи за довод ваздуха укрштени, заузимају велики простор, распоред је проблематичан, одржавање и управљање је тежи и сложен, стога, нема посебних захтева колико је то могуће да би се избегла употреба.