Циљана вредност релативне влажности у чистој просторији за полупроводнике (FAB)

Циљна вредност релативне влажности у чистој просторији за полупроводнике (FAB) је приближно 30 до 50%, што омогућава уску маргину грешке од ±1%, као што је у зони литографије – или чак мање у зони обраде далеког ултраљубичастог зрачења (DUV) – док се другде може спустити на ±5%.
Јер релативна влажност ваздуха има низ фактора који могу смањити укупне перформансе чистих просторија, укључујући:
1. Раст бактерија;
2. Опсег комфорне температуре собе за особље;
3. Појављује се електростатичко наелектрисање;
4. Корозија метала;
5. Кондензација водене паре;
6. Деградација литографије;
7. Апсорпција воде.

Бактерије и други биолошки загађивачи (плесни, вируси, гљивице, гриње) могу напредовати у окружењима са релативном влажношћу већом од 60%. Неке бактеријске заједнице могу расти при релативној влажности већој од 30%. Компанија сматра да влажност треба контролисати у распону од 40% до 60%, што може минимизирати утицај бактерија и респираторних инфекција.

Релативна влажност у распону од 40% до 60% је такође умерен распон за људску удобност. Превише влажности може учинити да се људи осећају загушљиво, док влажност испод 30% може изазвати осећај сувоће, испуцале коже, респираторне тегобе и емоционалну несрећу.

Висока влажност заправо смањује акумулацију електростатичког наелектрисања на површини чисте собе – што је жељени резултат. Ниска влажност је идеална за акумулацију наелектрисања и потенцијално штетан извор електростатичког пражњења. Када релативна влажност пређе 50%, електростатичко наелектрисање почиње брзо да се расипа, али када је релативна влажност мања од 30%, може дуго да се задржава на изолатору или неуземљеној површини.

Релативна влажност између 35% и 40% може се користити као задовољавајући компромис, а чисте собе за полупроводнике генерално користе додатне контроле како би се ограничило накупљање електростатичких наелектрисања.

Брзина многих хемијских реакција, укључујући процесе корозије, повећаваће се са повећањем релативне влажности. Све површине изложене ваздуху око чисте собе су брзе.